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        DOE高功率掩膜Holoor

        簡要描述:DOE高功率掩膜Holoor
        高功率掩膜(DOE專用掩膜)——用于精密控制大功率激光的孔徑,它的結構是在玻璃基板上鍍有一層很薄(~1μm)的圖案反射涂層。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2020-02-27
        • 訪  問  量:114

        詳細介紹

        價格區間3千-1萬組件類別光學元件
        應用領域醫療衛生,環保,化工,生物產業,石油

        DOE高功率掩膜Holoor

        高功率掩膜(DOE專用掩膜)——用于精密控制大功率激光的孔徑,它的結構是在玻璃基板上鍍有一層很薄(~1μm)的圖案反射涂層。

        HOLO/OR已經開發了一系列投影掩模,以滿足在UV-VIS光譜中具有很高功率的激光源使用此類掩模的需求。這些掩模具有兩種不同的形式:電介質反射掩膜具有阻擋不需要的光的反射涂層,而透射成像掩模模則使用了衍射圖案,該衍射圖案將這種不需要的光以大角度散射。

        典型參數

        Outer Diameter:

        5 - 100 mm

        Aperture Shape

        Round, square, multi-aperture, other

        Aperture Size

        10 um - 60 mm

        Wavelength spectrum

        193 - 11000 nm, each element designed for single wavelength

        Transfer Region

        Small; sharp edges

        SNR

        ~500

        Shape size

        >5 um

        電介質反射掩膜

        電介質反射掩膜是熔融石英襯底,其上涂有非常薄(~1um)的反射涂層。涂層部分反射入射光束,而未涂層部分透射光束。

        典型應用

        ●大功率系統的微圖案投影

        Micro patterns projection for high power systems

        ●紫外線光刻

        UV lithography

        光學系統示意圖:

        圖1.  典型設置

        HOLO / OR可以設計和制造定制的電介質反射掩膜以滿足客戶的需求。

        圖2.用顯微鏡放大倍數對定制電介質反射掩膜的真實測量

        電介質反射掩膜的特點

        ●高損傷閾值

        High damage threshold

        ●低吸收

        Low absorption

        ●反射部分的高反射率(> 99%)

        High reflection (>99%) in reflective part

        ●透明部分的透射率高(> 95%)

        High transmission (>95%) in transparent part

        ●極薄的介電反射層(~1 um)

        Very thin dielectric reflective layer (~1 um)

        透射成像掩模

        透射式掩模的特點是透射全部入射光,沒有任何阻擋,透射掩模使用衍射圖案以大角度漫射不需要的波段。

        工作原理:

        中心有一個和反射式掩膜類似的透明區域,光線直接透過,周圍區域具有衍射圖案,使不需要的入射光以大角度出射。配合聚焦鏡后焦平面放置的小孔,就可以阻擋大部分漫射光,從而達到阻擋多余激光的效果。

        光學系統示意圖

        透射成像掩模的特點

        ●無反射光危險,不會損壞光學系統

        No danger of reflected light causing damage to optical system

        ●約100%傳輸

        ~100% transmission

        ●激光損傷閾值高于反射罩

        Higher laser damage threshold than for reflective mask

        ●價格合理,與其他衍射元件相似

        Affordable price, similar to that of other diffractive elements

        透射掩模元件

        測量強度

        DOE高功率掩膜Holoor?標準產品

        Part Number

        Diameter

        (mm)

        Aperture Size

         (um)

        Aperture shape

        Material

        DM-002

        11

        65

        Square

        Fused Silica

        DM-003

        11

        165

        Square

        Fused Silica

        DM-004

        25.4

        1750

        Square

        Fused Silica

        DM-005

        25.4

        3500

        Square

        Fused Silica

        DM-006

        25.4

        7000

        Square

        Fused Silica

        DM-007

        25.4

        10838

        Round

        Fused Silica

        DM-008

        20

        8428

        Round

        Fused Silica

        DM-009

        25.4

        6200

        Round

        Fused Silica

        DM-010

        25.4

        5680

        Round

        Fused Silica

        DM-011

        11

        4817

        Round

        Fused Silica

        DM-012

        11

        3612

        Round

        Fused Silica

        DM-013

        11

        2408

        Round

        Fused Silica

        DM-014

        11

        4214.9

        Round

        Fused Silica

        DM-015

        11

        3000

        Round

        Fused Silica

        DM-016

        11

        5400

        Round

        Fused Silica

        DM-017

        85

        50075

        Square

        Fused Silica

        DM-019

        25.4

        300

        Square

        Fused Silica

        ※For a quotation of an above Part Number, please specify the wavelength used.

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